製品情報
モデル5225 エアロバーイオナイザーは、半導体等のスーパークリーンプロセス装置内での用途に専用設計されたバータイプイオナイザーです。
特長
・ワールドワイドにて無類の採用実績を有する単結晶シリコン電極は超低パーティクル特性と伴に電極材料によるメタル汚染リスクを回避
・パルスDC方式による広範囲な除電能力
・フルデジタル回路により制御され、より安定化されたイオン発生及び長期イオンバランス
・除電ターゲット近辺に5200-SR外部センサー(オプション)を設置することにより、イオナイザーバー本体ではなく、除電ターゲット近傍のイオンバランスをフィードバック制御可能(5200-SRが接続されない場合は、イオナイザーバー本体内蔵センサーがイオンバランスを自動調整)
・半導体前工程用ＥＦＥＭに即した長さのバーを設定
・イオン発生出力、イオン発生時間、アラームしきい値等 各種パラメータが幅広い範囲で設定可能なことにより、長距離用途や気流が弱い環境等フレキシブルに対応可能
・パラメータを数値入力するのみで高い再現性が得られ、短時間でのセットアップが可能
・シンプルなアラームIOに加え、無償提供されるDLL利用によるリアルタイムモニタリングが可能でありプロセス装置内の状態把握に貢献
仕様
Model 5225 AeroBar
| 入力電圧 | 24V AC, 50/60Hz, 1W Typ. IM6Tより供給。 |
|---|---|
| 通信形態 | RS485(IM6T～5225間) |
| 出力電圧 | 0kv～約+/-20kv |
| 出力形態 | パルスDCモード、ステディーステートDCモード(選択可) |
| 出力電流 | <15micro A 電流及び電圧制限回路内臓 |
| 接続コネクタ | RJ11, 4極4芯 |
| イオン発生タイミング | 最小0.1sec, 最大10sec 正負別個に設定可能 |
| 電極 | 単結晶シリコン電極 交換可能 |
| オゾン発生量 | <0.005ppm(24時間積算測定) |
| 対応クリーン度 | ISO Class1, 0.1 micron |
| 寸法 |
高さ53mm x 奥行31mm x 長さ569mm (-22), 721mm(-28), 907mm(-36), 1128mm(-44), 1412mm(-56), 1636mm(-64), 1918mm(-76) 及び 2144mm (-84) |
| 重量 | -22:1.02kg 追加長につき0.17kg/30cm |
| 外装 | ABS樹脂 |
Interface Module Model 5200-IM6T
| 入力電圧 | 24V DC +/-5%, 1.5A |
|---|---|
| 通信形態 | Ethernet, RS232C |
| アラーム出力 | リレー接点(V4.0以上のバージョンのみ) |
| 寸法 | 高さ74mm x 奥行71mm x 長さ315mm |
| 重量 | 2kg |