製品情報
モデル4214イオナイザーは、高純度N2環境下においても"拡張ISO Class1,10nm"の高クリーン度に対応し、かつ優れたイオンバランスを達成します。
特長
・超低パーティクル対応 単結晶シリコン電極を採用。
・パーティクルを外部に放出しない独自のクリーン機構により長期間安定したクリーン度を確保
・調整が一切不要なインテリジェント制御回路採用
・内臓センサーによりイオン発生が常にモニタリングされ、確実な除電を達成
・コントローラ,電源内蔵の一体型コンパクト設計
・低流量時は自動高電圧シャットオフ機能が製品を保護します
・先端半導体製造工程他 超低パーティクル用途に最適
・24V DC駆動
仕様
| 入力電圧 | 24V DC+/-5% 6W Typ. |
|---|---|
| イオンバランス | <+/-25V 150mm 距離 40LPM 配管接続無し |
| 除電時間 |
<10sec 150mm 距離 40LPM 配管接続無し +/-1kv → +/- 100v 帯電プレートモニターによる |
| イオン発生方式 | コロナ放電式 高周波AC方式 |
| クリーン度 |
ISO Class1,0.1 micron "拡張ISO Class1,10nm"* |
| 電極 | 単結晶シリコン 交換可能 |
| 対応パージガス | N2 > 99.998% |
| 流量 | 40LPM(36.5Kpa)～90LPM(171kpa) |
| 最大パージ圧 | 207Kpa(=100LPM流量) |
| 最大ガス温度 | 60deg C |
| N2パージ接続 | Swagelok3/8" OD 配管 |
| イオン化N2接続 |
1/4NPTメスネジコネクタ或いは オプションジョイント 28-25710-SCにてSwagelok1/2"OD配管接続 |
| 使用温度範囲 | 15～60deg C |
| 信号出力 | Open/Close接点にてアラーム及び、イオン低下出力 |
| 寸法 |
長さ152.4mm x 幅72.4mm x 奥行き32mm 配管部含まず |
| 重量 | 640g |
| 外装 | ステンレススチール |
| 取り付け方法 | 裏面 M5ネジ ネジ長が10mm未満であること |