ルームイオナイザーモデル5509E

モデル5509Eイオナイザーは、クリーンルーム内における広範囲除電に適したイオナイザーです。ロッド長さが選択可能な正負イオン発生電極は、長距離・広範囲に有効なイオンを供給します。独自の自動イオンバランス調整機構により、長期間良好なイオンバランスを確保します。

局所クリーン除電イオナイザーQuadBar モデル4635

モデル4635クアッドバーは、従来のモデル4630/4632に更なる磨きを掛け、除電性能と使い易さを向上させた高クリーンイオナイザーです。レチクル用等、限られたスペース及びエアフロー環境における除電に適します。

拡張ISO Class1,10nm対応バータイプイオナイザー AeroBarMP モデル5635

モデル5635 エアロバーMPイオナイザーは、先端半導体製造工程等100nm以下の微小パーティクル管理が必要な箇所の除電用途に開発された超低パーティクル対応製品です。

FPD及びエレクトロニクス用μWireBar モデル 5710

μWire (マイクロワイヤー）モデル5710イオナイザーは、イオン発生効率に優れたワイヤー電極と、独自に開発したマイクロパルス高電圧印加方式を採用し、高速除電、ローコストオブオーナーシップ、少ない逆帯電を他に類を見る事ができない高いレベルで実現。
静電気に敏感な最新FPD及びエレクトロニクスデバイス用バータイプイオナイザーです。