ELECTRONICS

クリーンルーム内はクリーン環境ですが、清浄度が高ければ高いほど静電気の影響を受け易いといえます。外部からのパーティクルの持ち込みや部材からの発塵埃や部材やパーティクルそのものの静電気帯電によって静電気問題を引き起こします。 クリーン環境下でのパーティクル対策及び静電気対策のために静電気の発生をコントロールする必要があります。ルームイオナイゼーションはシムコが提案する究極のパーティクル対策です。ミニエンバイロメント化への導入には、これらルームイオナイゼーションは必須といえます。

クリーンブース内はフィルター精度に応じたクリーン環境ですが、外部からのパーティクルの持ち込みや部材からの発塵埃や部材の静電気帯電によって製品に付着します。クリーン環境下ではパーティクル対策及び静電気対策のために静電気の発生をコントロールする必要があります。

クリーンベンチは局部的に清浄度を上げ小エリアのクリーン環境を作り出しますが、外部からのパーティクル持ち込み、部材や仕掛かり品の静電気帯電によって製品に付着します。エレクトロニクス部品、医薬、食品などのクリーン環境を必要とする産業ではパーティクル対策及び静電気対策のために静電気の発生をコントロールする必要があります。

液晶、半導体製造工程のローダ、アンローダ内でデバイスをカセットから取り出し、挿入時の電位変化によりＥＳＤ（静電気放電）が発生するためＦＦＵ（フィルタファンユニット）送風口にＤＣタイプのイオナイザーを設置し常に静電気の無い環境を作り出します。